六氟乙烷，又称全氟乙烷，是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物，是卤代烃（化学式：C2F6），亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物，是一种不易燃的气体，难溶于水，微溶于醇。六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。
产品详情
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中文名 |
全氟乙烷 |
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英文名 |
hexafluoroethane |
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别名 |
六氟乙烷 |
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英文别名 |
perfluoroethane |
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CAS |
76-16-4 |
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EINECS |
200-939-8 |
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化学式 |
C2F6 |
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分子量 |
138.012 |
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InChI |
InChI=1/C2F6/c3-1(4,5)2(6,7)8 |
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密度 |
1.463g/cm3 |
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蒸汽压 |
23700mmHg at 25°C |
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折射率 |
1.202 |
产品纯度
99.999%
产品包装
规格齐全，按客户要求配置。
产品用途
1、电子工业：六氟乙烷作为等离子蚀刻工作气体在发展微电子工业方面起着重要作用，是加工超大规模集成块工艺中所必需的介质；
2、制冷空调业：六氟乙烷右用做制冷和空调的冷媒。六氟乙烷还可与HFC-23组成不损害臭氧层的共沸剂R-508B,R-508B用做多级压缩循环中在低温段替代CF-13和R-503的替代物；
3、化学工业：六氟乙烷可用做化学反应中的添氟剂；
4、电力工业：六氟乙烷可用做电气设备的绝缘剂和高介电强度冷却剂；
5、其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，还可用于光纤生产。