磷化氢，是一种无机化合物，化学式为PH3，是一种无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体，俗名：膦，CAS No.:7803-51-2，其主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂，还用于有机合成。
产品详情
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中文名 |
磷烷 |
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英文名 |
phosphine |
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别名 |
磷化氢 |
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英文别名 |
GAS EX-B |
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CAS |
7803-51-2 |
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EINECS |
232-260-8 |
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化学式 |
PH3 |
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分子量 |
34 |
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InChI |
InChI=1/H3P/h1H3 |
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水溶性 |
0.04 g/100 mL |
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产品用途 |
用于集成电路制造 |
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危险品标志 |
F+ - 极易燃物品
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风险术语 |
R12 - 极度易燃。 |
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安全术语 |
S28 - 不慎与皮肤接触后，立即用大量肥皂水冲洗。 |
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危险品运输编号 |
UN 2199 |
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上游原料 |
亚磷酸 |
产品纯度
99.99~99.999%
包装说明
40～47L钢瓶
产品说明
磷化氢在常温常压下为具有令人讨厌的大蒜和臭鱼味的无色有毒气体。空气中能燃烧，如果含有少量P2H4，则在室温空气中也能自燃(纯的PH3在149℃以下不着火)，而且容易发生爆炸。主要应用于缩合催化剂、聚合引发剂、磷的有机化合物制备、发生气体、外延生长、扩散、离子注入、蚀刻、化学气相淀积、粮仓的杀虫药。
注意事项
发生泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，切断火源。建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。切断气源，喷雾状水稀释、溶解，注意收集并处理废水。然后抽排(室内)或强力通风(室外)。如有可能，将漏出气用排风机送至空旷地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。