碳酰氟

中文名    碳酰氟

外文名    Carbonic difluoride

别    名    氟光气;氟氧化碳;氟化羰等

分子式    CF2O

分子量     66.01

沸    点    -84℃

外观与性状：带有刺激性的无色气体，遇水分解。

熔点(℃)： -114

沸点(℃)： -83

相对密度(水=1)： 1.14(-114℃)

用途    可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂。