硅烷在常温常压下为无色、有毒、非常活跃的压缩气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其它气体稀释，如果浓度不够低．仍能自燃。硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时，它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。硅烷是强还原剂，与重金属卤化物激烈反应，与氯、溴发生爆炸性反应，与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时，玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。硅烷广泛用于硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太阳能电池，光导纤维，有色玻璃制造，化学气相淀积。
注意事项：
| 化学式 | SiH4 | 危险货物编号 |
21050 |
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| 理化性质 | 外观与性状 | 无色自燃气体。 | 爆炸界限 | 0.8%~98% |
| 熔点（℃） | -185.0℃ | 相对密度(空气=1) | 1.114 | |
| 沸点（℃） | -111.5℃ | 临界温度（℃） | -3.4℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途径 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 与空气混合能形成爆炸性混合物，遇高热明火极易燃烧爆炸，在空气中自燃，吸入引起发热、头痛、恶心、多汗、晕厥。 | |||
| 急救方法 | 迅速撤离污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入，切断火源。建议应急处理人员带正压自给式呼吸器，穿防静电服，从上风口进入切断泄漏源，喷雾状水稀释，出污染区后立刻就医 | |||
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产品规格 |
99.99% |
99.999% |
99.9999% | |||||
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氧 氩（O2 Ar） |
≤1ppm
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≤0.4ppm
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≤0.1ppm |
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氮气（N2） |
≤1ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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氢气（H2） |
≤50ppm |
≤30ppm
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≤20ppm
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氦气（He） |
-
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≤10ppm
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≤10ppm
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总烃THC |
≤0.2ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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一氧化碳+二氧化碳（CO+CO2） |
≤0.2ppm
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≤0.4ppm
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≤0.1ppm
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氯化物THCL
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≤15ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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甲硅醚 |
≤1ppm
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≤0.2ppm
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≤0.1ppm
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| 乙硅烷（Si2H6） |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
≤0.1ppm |
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| 水（H2O） |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
≤0.1ppm |
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