全国咨询热线:18569052610
一站式气体产品供应商
提供完善的用气解决方案
网站首页
远创气体简介
产品和服务
经典案例
气体检测
网上商城
资讯中心
技术咨询

电子气体

分类导航

三氟化氮

三氟化氮
产品介绍

     三氟化氮是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源,在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出,所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中,三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物,同时也是非常良好的清洗剂。


注意事项:

image.png

理化特性
化学式 NF3 危险货物编号 23016
理化性质 外观与性状 无色刺激气体 饱和蒸汽压(kpa) >101.35(20°)
熔点(℃) -208.5℃   相对密度(空气=1) 2.46
沸点(℃) -129℃ 临界温度(℃) -39.3℃
毒性及健康危害 侵入途径 吸入。
健康危害 吸入该物质会引起呼吸道不适,本产品低毒,但是它能强烈刺激眼睛和皮肤黏膜,腐蚀组织
急救方法 吸入时,迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅,不可进行口对口人工呼吸,就医;立刻脱掉污染衣服,用大量水冲洗,并给予医疗护理;眼睛接触时,用水彻底冲洗至少15分钟,就医

 

技术指标

 

产品规格

99.9%

99.99%
99.995%

四氟化碳(CF4)

≤500ppm

≤40ppm

≤20ppm

氮气(N2)

≤50ppm

≤5ppm

≤5ppm

氧+氩(O2+Ar)

≤50ppm

≤5ppm

≤3ppm

二氧化碳(CO2)

≤10ppm

≤5ppm

≤1ppm

水(H2O)

≤1ppm

≤1ppm

≤1ppm

酸份(以HF计)

≤1ppm

≤1ppm

≤1ppm

六氟化硫(SF6)

≤25ppm

≤2ppm

≤1ppm

氧化亚氮(N2O)

≤10ppm

≤5ppm

≤1ppm

一氧化碳(CO)

≤10ppm

≤5ppm

≤0.5ppm

三氟化氮...

高纯硅烷...

我要留言 / 反馈

详细地址: 湖南省长沙市天心区仰天湖新村1号16栋512号湖南轻工研究院内