五氟化钽，化学式TaF5，白色结晶。折光能力强。相对密度4.74。熔点96.8℃。沸点229.5℃。稍溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶于水和乙醚生成氟氧络合离子TaOF52-和氟化氢，亦溶于氢氟酸、硝酸、发烟硝酸。在空气中吸湿而不水解。能缓慢腐蚀玻璃。氟化金属钽制得。也可由五氯化钽和无水氟化氢作用制得。用作傅-克反应的催化剂。用于生产电容器，也用于化学气相沉积。钽粉直接氟化可制取纯度大于99%的产品。在微电子工业中用作气相淀积硅化钽或钽，以制作低电阻高熔点的互连线。