作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。
产品信息概括
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项目 |
说明 |
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化学名称 |
六氟异丁烯；2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯；HFIB |
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CAS号 |
382-10-5 |
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分子式 |
C4H2F6 |
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分子量 |
164.05 |
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沸点（101.325kPa，℃） |
14.5 |
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溶解度（23℃, g/L） |
0.23 |
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密度(101.325kPa，g/cm3) |
1.39 |
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包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶