分子式：C4F6
分子量：162
CAS 号：685-63-2
| 项目 | 指标 | ||
| 外 观 | 无色，不浑浊 | ||
| 六氟丁二烯含量 | ≥98% | ||
| 水份 | ＜50PPm（V） | ||
| N2 | ＜80PPm（V） | ||
| O2 | ＜20PPm（V） | ||
| CO2 | ＜20PPm（V） | ||
性 状： 易燃、有毒、无色、无味的刚瓶装液化压缩气体，吸入有害，与空气混合后，浓度达到7%时，有立即燃烧和爆炸危险
用 途： 半导体的等离子蚀刻，优良的干蚀刻气体。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂
贮 存： 贮存在阴凉通风处，容器保持密闭。贮存在原容器中的温度不超过50℃。避免阳光直射。注意不要与氧化剂一起混贮。远离烟火。
运 输： 按照压缩气体和液化气体有毒气体标准运输
包 装： 10L或47L钢瓶压缩包装， 或依客户要求包装