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高纯电子特气分析用标准气体

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高纯电子特气分析用标准气体

高纯电子特气分析用标准气体

标准物质名称

标准物质编号

组分

相对扩展不确定度

标准编号及名称

氦气

BW(DT)0143

Ar、O2、CH4、CO2、Ne、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol)  氦气平衡

2%(k=2)

GB/T 4844_纯氦、高纯氦和超纯氦

BW(DT)0113

O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol)  氩气平衡

2%(k=2)

GB/T 4842-2017 氩

BW(DT)0110

Ar、O2、CH4、CO2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol)  氢气平衡

2%(k=2)

GB/T 3634.2 氢气 第2部分:纯氢、高纯氢和超纯氢

BW(DT)0159

Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO 1.00—1000(μmol/mol)  氮气平衡

2%(k=2)

GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮 GB/T8979-2008 纯氮、高纯氮和超纯氮

BW(DT)0134

Ar、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol)  氧平衡

2%(k=2)

GB/T 14599-2008 纯氧、高纯氧和超纯氧 GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧

二氧化碳

BW(DT)0108

Ar、O2、CH4、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 二氧化碳平衡

2%(k=2)

GB/T 23938-2009 高纯二氧化碳

一氧化碳

BW(DT)0162

Ar、O2、CH4、CO2、H2、N2 1.00—1000(μmol/mol) 一氧化碳平衡

2%(k=2)

GB/T 35995-2018 一氧化碳

BW(DT)0171

Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氖气平衡

2%(k=2)

GB/T 17873-2014 纯氖和高纯氖

BW(DT)0171

Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2、Xe 1.00—1000(μmol/mol) 氪气平衡

2%(k=2)

GB/T 5829-2006 氪气

BW(DT)0171

Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 、Kr、N2O 1.00—1000(μmol/mol)       氙气平衡

2%(k=2)

GB/T 5828-2006 氙气

甲烷

BW(DT)0142

Ar、O2、CO2、H2、CO、N2、乙烷、硫化氢 1.00—1000(μmol/mol)  甲烷平衡

2%(k=2)

GB/T 33102-2016 纯甲烷和高纯甲烷


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