三氟化磷主要用作半导体载气

1、三氟化磷，是一种无机化合物，化学式为PF3，在常温常压下为无色无味的有毒气体。

2、三氟化磷液态时为无色透明液体，空气中不太发烟，相当稳定，加热时与氢反应生成PH3，能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外，不腐蚀玻璃。