电子气体简介:电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支,是集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、 LED、OLED)、太阳能(9.960, 0.13, 1.32%)电池等电子工业生产不可或缺的原材料。通常半导体生产行业,将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中,常用气体指集中供给而且使 用非常多的气体,比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、 掺和、洗涤、遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,比如高纯度的 SiH4、 PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等,在 IC 生产环节中,使用 的电子气体有差不多有 100 多种,核心工段常见的在 30 种左右。正是这些气体通过不同的制程使硅片具 有半导体性能,它又决定了集成电路的性能、集成度、成品率。即使是某一种某一个特定杂质超标,都将 导致质量严重缺陷,严重时会因不合格气体的扩散,导致整个生产线被污染,乃至生产全面瘫痪。因此, 电子气体是电子制造过程关键基础材料,是名副其实的电子工业“血液”。
电子气体的原料主要为空气分离气体、石油化工和煤化工生产过程中产生的低纯度原料气、废气和 其它基础化工原料。主要原材料来源广泛,市场供应充足,较容易从相关原材料供应厂家获得。我国大型 炼钢企业以及化肥企业基本配备了空气分离设备,空分气体供应量大且价格稳定。电子特种气体对原料 气体的消耗量占石油化工和煤化工原料气产量的比例很小,稳定的石化和基础化工行业能向电子特种气 体行业提供充足的原材料。“十三五”规划对环境保护以及工业废气排放目标的进一步明确,上游行业的 供应将更为充足。气体容器因能长期使用,在电子气体成本中占比较低,价格波动对行业影响较小。
电子气体的分类及应用:电子气体种类繁多,在电子产品制作工艺中应用广泛。目前常用的电子气体纯气有 60 多种,混合气 有 80 多种。电子气体可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、 掺杂和蚀刻等工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子特种高纯气体-湖南远创气体大量供应。电话:18569052610