碳酰氟(CF2O)
产品说明


碳酰氟，又名氟光气，是一种含氟、非易燃、有毒气体，化学式为CF2O，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂。


 


技术指标


组成


单位


指标


碳酰氟(CF2O)


wt%


≥99.0


三氟乙酰氟


wt%


≤0.5


其他


wt%


≤0.5


 


理化指标


检测项目


单位


指标


化学名称


/


三氟乙酰氟


CAS


/


353-50-4


分子式


/


CF2O


结构式


/






分子量


g/mol


66.01


沸点(1atm)


℃


-84


临界温度


℃


22.8


液体密度


g/ml


1.14


 


包装方式


本产品充装在钢瓶或运输槽罐中，钢瓶包装规格1000 kg/1000 L，钢瓶充装系数0.5 kg/L；钢瓶或运输槽罐外附有标签、合格证，注明牌号、商标、批号。


 


注意事项


1.产品储存时要远离火源、热源，防止超压；储存场所必须有良好的通风装置。
2.高温天气，要对露天存放的钢瓶进行防晒降温措施，防止超压。
3.本品按危险品运输，运输过程中应避免受热或剧烈震动。