中文名	氧气
英文名	Oxygen
别名	氧气(医用) 液氧 高纯氧 氧
英文别名	CAL-MAT AIR AIR Air, refrigerated liquid (cryogenic liquid). COMPRESSED AIR, BREATHING AIR 1-(5-O-phosphono-beta-D-ribofuranosyl)-1H-imidazol-5-amine
CAS	7782-44-7 132259-10-0
EINECS	231-956-9
化学式	C8H14N3O7P
分子量	295.186
InChI	InChI=1/C8H14N3O7P/c9-5-1-10-3-11(5)8-7(13)6(12)4(18-8)2-17-19(14,15)16/h1,3-4,6-8,12-13H,2,9H2,(H2,14,15,16)/t4-,6-,7-,8-/m1/s1
密度	2.16g/cm3
熔点	-218℃
沸点	774°C at 760 mmHg
闪点	421.9°C
蒸汽压	3.27E-25mmHg at 25°C
折射率	1.776
物化性质	性状 无色透明、无臭、无味的气体。 相对密度 1.429（0℃） 溶解性 不易溶于水，微溶于醇。
产品用途	用于金属的切割和焊接、炼钢、医疗、国防、电子、化工、冶金等部门
危险品标志	O - 氧化性物品
风险术语	R8 - 与可燃物料接触可能引起火灾。
安全术语	S17 - 远离可燃性物质。
危险品运输编号	UN 1014/1072
上游原料	氢氧化钾 氧气
下游产品	盐酸 硝酸 三氯化铁 三氧化二锑 过氧化氢 过氧化钠 黄磷 甲醇 环氧乙烷 乙醛

高纯氧气体主要用于半导体器件的热氧化、扩散、化学气相沉积及等离子蚀刻等工艺，还可用于光导纤维、彩色显像管制造并作标准气、校正气和零点气等。作为氧化源与产生高纯水的反应剂。对于MOS场效应器件，氧化层必须相当致密，采用高纯氧气进行干法氧化，其氧化层结构致密，正电荷少，耐压高，能满足生产需要。与四氟化碳混合，可用于等离子刻蚀。