超高纯氯甲烷作为一种精细化工产品，有着广泛的用途。目前主要应用于集成电路领域。在国内信息制造业快速发展的带动下，我国超高纯氯甲烷的市场需求稳步增长，产品主要用于IC蚀刻剂、丁基橡胶、有机硅、农药的生产。
电子工业领域
超高纯氯甲烷可用于生产集成电路的蚀刻剂，用作集成电路的清洗剂、光亮剂、显影剂等产品，在集成电路制造中有很高的需求。得益于近年来中国信息制造业的快速发展，中国已成为集成电路生产大国。2020年中国集成电路产量约2430亿片。同时，在5G商用的带动下，我国集成电路产业将继续快速发展，这将带动该领域超高纯氯甲烷应用需求的增长。
丁基橡胶生产领域
超纯氯甲烷可作为低温聚合生产丁基橡胶的溶剂产品。丁基橡胶主要用于生产汽车内胎。随着新能源汽车产业的快速发展，丁基橡胶市场需求持续上升，国内外丁基橡胶产能呈增长趋势。预计到2021年，全球丁基橡胶产能约230万吨，中国丁基橡胶产能60万吨。随着丁基橡胶产能的不断扩大，超高纯氯甲烷在该领域的发展空间不断扩大。
农药制造领域
超高纯度氯甲烷是生产农药百草枯的原料。十年前，百草枯因其良好的除草性能成为中国最受欢迎的农药之一。但百草枯对人体有剧毒，且无特效治疗方法，目前在我国禁止销售和使用。百草枯在热带和亚热带地区非常有用。目前国内百草枯主要用于出口。2020年上半年，中国百草枯出口额将达到1.5亿美元。虽然我国禁止使用百草枯，但海外近百个国家仍有百草枯需求，因此百草枯国内出口前景良好，超高纯度氯甲烷在该领域的应用需求较为稳定。