三甲基硼,是一种有机化合物,化学式为C3H9B,常温常压下为无色气体,不溶于水,易溶于乙醇、乙醚,主要用于有机合成。
三甲基硼主要应用于硅薄膜太阳能电池,作为P型掺杂源。目前,硅薄膜太阳能电池生产线上用三甲基硼或乙硼烷作为P型掺杂源,与乙硼烷相比,用三甲基硼掺杂可以大幅度降低P材料中的B—B键和B原子的密度,从而有效减少材料中的缺陷态密度,提高掺杂效率。由于三甲基硼稳定性好,毒性小,污染小,制成的硅薄膜太阳能电池转换率高,是能够制备出宽光学带隙且高电导的优质P型材料,从长远看有取代乙硼烷的趋势。有实验研究了一种硅太阳能电池电学和光学性能的改进,以及制造光电电池或光电转换板的方法,其包括使用包含比例为1∶2∶2∶1.25的硅烷、甲烷、氢气和三甲基硼的气体混合物沉积p-掺杂非晶硅层。特别地,使用等离子体增强化学气相沉积进行沉积。同时说明了相应的光电电池和光电转换板。光电太阳能转换提供以环境友好方式供电的前景。