在常温常压下，高纯度六氟化硫无色、无味、无毒、不易燃、热稳定性和化学稳定性。它无毒，自身性能优良，可满足不同的生产要求。因此，在生产中广泛使用高纯度气体。
在正常情况下，高纯度六氟化硫是无毒的，但当它与其他物质反应时，会产生剧毒物质。电气设备中的六氟化硫和分解产物在高温电弧、电极、金属材料、内部湿气和其他绝缘材料反应后产生有毒产物。如果六氟化硫气体不纯，在出厂时很容易含有有毒气体。
吸入高浓度六氟化硫会导致窒息症状，如呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜发蓝。通常，六氟化硫中毒是因为气体在高温和高温环境中产生副产物。它们和未溶解的六氟化硫共存并产生毒性。