六氟化硫SF6气体回收净化装置是用于SF6气体绝缘电器设备的制造厂，使用运行科研等部门, 对各种电器设备进行抽真空，对电器设备充入SF6气体，并从使用或试验的电器中回收SF6气体,同时进行净化处理压缩贮存到贮罐。SF6气体回收净化充放装置适用SF6开关电器及GIS组合电器等。
一、SF6气体回收净化装置的主要功能
SF6气体回收净化装置由回收系统、充气系统、抽真空系统、净化系统、气体贮存系统组成，具有如下主要功能：
1、对装置本机以及电器设备抽真空和真空度的测量；
2、对电器设备中的气体进行回收；
3、对回收和回充的SF6气体进行干燥、净化处理；
4、对SF6电器进行充气；
5、对电器中SF6气体进行压缩贮存。
二、SF6气体回收净化装置的工作原理
1、SF6气体的回收
当SF6从一个气室中抽出时，气体便自动地流经净化过滤器，通过SF6压缩机压缩冷却提纯，在一定高压下以液态形式储入SF6贮罐。
2、SF6开关抽真空
使用真空泵把电器开关中的气体可以抽除，真空泵的出口通向大气。
3、充气
经净化和干燥的SF6从贮罐充回到已抽成真空的气室中，直到气室内压力达到设定的工作压力。上述工作分两个步骤进行：
（1）借助SF6贮罐压力使气体汽化流向SF6开关，直至达到预定的充气压力。
（2）当SF6贮罐压力与SF6开关压力平衡时，再采用压缩机进行加压充气，直至达到预定充气压力。