三氟化氯 - 基本信息
| 中文名 |
三氟化氯 |
| 英文名 |
Chlorine trifluoride |
| 别名 |
三氟化氯 |
| 英文别名 |
CHLORINE TRIFLUORIDE |
| CAS |
7990-91-2 |
| 化学式 |
ClF3 |
| 分子量 | 92.45 |
| 物化性质 | 理化性质 三氟化氯（ClF3）是一种很强氧化剂和氟化剂。它能大多数有机和无机材料甚至塑料反应，可以使许多材料不接触火源就燃烧。这些反应通常很剧烈，在某些情况下甚至会爆炸。 它与一些金属反应生成氯化物和氟化物，与磷反应生成三氯化磷和五氟化磷，而与硫反应生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也与水剧烈反应，水解产生有毒物质，例如氟化氢。H2S在室温下与ClF3混合就会爆炸。 |
| 产品用途 | 用途 三氟化氯（CIF3）是一种用于清洗化学气相沉积腔室及其管道清洗的重要的电子特气。与其他含氟气体（如NF3、C2F6和CF4）不同，三氟化氯在室温下就能够与半导体材料进行反应，因此它可以清洗冷壁CVD腔室。用三氟化氯进行清洗是一种化学刻蚀过程，腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应，不存在等离子体那样的高能离子轰击过程，对设备的损坏可以降低到最低限度。相比等离子裂解制氟工艺，三氟化氯清洗工艺简单而高效，且清洗效果更好。 |
| 危险品运输编号 | UN 1749 2.3 |
| Hazard Class | 2.3 |