1、氩气没有毒性,但在高浓度状态下,会使氧分压降低而发生窒息。在氩气浓度达到50%以上,能够引起严重症状;当氩气浓度达到75%时,仅仅几分钟便会窒息而死。氩气是利用空气分离,将液化空气蒸馏获得的,再经过进一步净化,就可以得到高纯氩。液氩是将高纯氩气压缩成液体气体,储存在杜瓦罐中。高纯氩气的国家标准是GB/T10624-1995,纯度要求达到99.999%以上。氩气是利用空气分离提氩,对液化空气进行蒸馏,得到粗氩。经过进一步净化,可以得到高纯氩。
2、高纯氩用于半导体工业顶部生产高纯硅和锗晶体的维护气体;可用于系统清洗、屏蔽和增压的惰性气体;用于化学气相堆积、溅射和退火。高纯氩也可用作色谱载气。氩广泛用于填充弧光、荧光灯和电子管;焊接维护气体;钛、钴等活性金属的生产顶部用作屏蔽气体;用于吹制黑色冶金顶部的特种钢。
3、液氩是将高纯氩气压缩成液体气体,储存在杜瓦罐中。液氩在使用时释放气相。当液氩储存在杜瓦罐中时,会有一个自然的增压过程。当其压力过高时,杜瓦罐会安全泄压。在这个自然增压和减压的过程中,氩气很容易释放。氩气液氩的应用,氩气是目前工业上用途非常广的稀有气体,它的性质十分不活泼,不燃烧也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业领域,对特殊金属,例如铝铝、镁、铜及其合金和不锈钢在焊接时,往往用作为焊接保护气,防止焊接件被空气氧化或氮化;
4、氩气还用于钢铁、铝、钛和锆的冶炼中,热处理工艺也用于代替氮气和氨气,效果更是超过氮气和氨气,不锈钢热处理时采用氩气保护折弯效果更好不易断裂;在通电后,放电时氩发出紫色辉光,又用于照明技术和填充日光灯、光电管、照明管等;在酿酒的过程中,还可以使用氩气作为啤酒桶里的填充气体,它可以把氧气置换,以避免啤酒原料被氧化成乙酸;高纯氩气不仅用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等,氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气,可以提高硅晶体的质量。高纯氩气可用于系统清洗、屏蔽和增压的惰性气体,高纯氩也可用作色谱载气。