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三甲基硅烷（C3H10Si）Trimethylsilane |
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化学式 |
C3H10Si |
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中文名称 |
三甲基硅烷 |
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英文名称 |
Trimethylsilane |
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CAS No. |
993-07-7 |
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规格 |
47L/20KG |
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充装系数 |
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应用 |
应用于半导体工业SiCN扩散阻挡层制备工艺，沉积低介电常数的铜扩散阻挡层或刻蚀停止层，采用等离子体辅助化学气相沉积方法PECVD制得 |
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产品规格 |
≥99.999% |
全国咨询热线：18569052610
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