六氟丁二烯|全氟丁二烯C4F6

六氟丁二烯（C4F6）

化学式

C4F6

中文名称

六氟丁二烯

英文名称

1,3-Hexafluorobutadiene

CAS No.

685-63-2

分子量

297.8

充装系数

2.8kg/L

应用

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

产品规格

≥99.995%