六氟化钨、高纯六氟化钨

六氟化钨（Tungsten hexafluoride），分子式为WF6，分子量为297.830。

无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。主要用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂。