六氟化钼

molybdenum hexafluoride

分子式：MoF6

性质：白色块状结晶。密度2.55lg/cm3(液态，17.5℃)。熔点17.5℃。沸点35℃。遇干空气、氯气、二氧化硫不起反应。对湿空气敏感，生成蓝色的氧化钼。大量水溶解并分解。在强氧化剂存在下，室温能侵蚀许多金属(金、铂除外)，使金属表面变为蓝色。与碱性氟化物生成配位化合物M21[MoF8]。

将钼粉加入铂管中，通干燥氟，加热至60℃即可制得。

主要用于钼的同位素分离。可在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线。