1、高纯四氟化硅是电子和半导体行业中重要的电子特气之一，主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源，还可以用于制备电子级硅烷或多晶硅。 由于四氟化硅在高温火焰中水解可以产生具有高比表面积的热沉SiO2，还可以用于制作光导纤维用高纯石英玻璃。
2、在光纤生产技术中，四氟化硅是制造硅基半导体器件时所采用的离子注入法的重要成分。四氟化硅还广泛应用于生产水泥、电子材料、太阳能电池元件、复印机感光鼓、特大规模集成电路等产业，随着激光在有机反应应用的发展，四氟化硅在光敏剂产业也得到了越来越广泛应用。
3、四氟化硅的工业化生产主要在美国和日本，如美国的联合化学公司、普莱克斯公司、空气产品公司。日本的中央硝子公司、昭和电工化学公司、三井化学公司等。随着半导体工业的飞速发展，四氟化硅的需求量也越来越大，对其纯度要求也越来越高，目前国内也开始大力发展四氟化硅的制备工艺，但纯度及产量较低，高纯四氟化硅产品仍依赖进口。
4、因此，突破国外半导体新材料制备关键技术垄断封锁，自主研发低成本高产量的四氟化硅制备技术工艺，实现国产产业化生产，应急攻关关键技术核心，满足市场依赖进口局面，提高企业竞争力，实现国产化具有非常重要的意义。