三氟化硼是一种无机化合物，化学式为BF3，是一种无色气体，具有刺激性气味、毒性、腐蚀性和窒息性。三氟化硼溶于冷水，溶于某些有机溶剂，易水解。能分解潮湿空气中的剧毒氟烟，遇水会剧烈反应生成氟硼酸和硼酸。能腐蚀玻璃和多种金属，遇有机物反应剧烈。三氟化硼是一种危险的化学物质。
三氟化硼制备方法主要包括:以三氧化二硼/硼酸盐和氟化氢为原料进行反应；以硼和氟为原料反应制得；以硼碳混合物和氟气为原料反应制得；以硼砂和萤石的混合物为原料，与浓硫酸反应。以硼酐和氟硼酸钾为原料，与浓硫酸反应得到产品。采用热分解法制备氟硼酸钠。
三氟化硼常用作半导体材料、火箭高能燃料、有机合成催化剂、硼同位素分离原料、化学合成原料、金属合金抗氧化剂、环氧树脂固化剂等。高纯三氟化硼可用于半导体工业，如掺杂、离子注入、氧化扩散、等离子体刻蚀、硅/锗外延生长等。作为三氟化硼掺杂的重要应用领域之一，它是一种常用的硼掺杂产品，可以增强硅片的电学性能，主要用于P型半导体的生产。
根据新思杰产业研究中心发布的报告，我国对三氟化硼的研究始于20世纪50年代，光明化工研究设计院是最早研究三氟化硼的机构，主要以高能燃料用三氟化硼为主。随着中国半导体产业的快速发展和规模的不断扩大，中国市场对电子级高纯三氟化硼的需求不断上升，高纯三氟化硼生产的技术壁垒高，导致国内生产企业数量少，产能小，远远不能满足国内市场需求。尤其是电子级三氟化硼产能较弱，需求主要依赖进口。未来我国三氟化硼行业发展空间很大，但作为危险化学品，其生产对企业的技术和资质要求很高，弱势企业很难进入布局。
