硅烷SiH4，又叫四氢化硅，是一种无色、与空气反应并会引起窒息的化学气体。是一种易燃的，有毒的危害性气体。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷应用于微电子、光电子工业， 用于太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今上的大规模粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的应用还在不断出现, 包括用于陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新、新材料、新器件的基础。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著称。硅烷有宽的自发着火范围和的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。
硅烷气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。
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