用氯化钡与氟磺酸反应生成氟磺酸钡后，加热氟磺酸钡使其分解可制得氟化硫酰：在一容积约500mL的铁制容器中加入100g HSO3F，该容器上有可以旋上的盖子和气体导出管，在用冰冷却的情况下将100g BaCl2分成小部分加入到容器中去。当BaCl2全部加完后，将盖子旋上。在100℃加热，驱除反应生成的HCl，当不再有HCl放出时，将气体导出管与水流抽气泵连接，在真空下加热至120～150℃，以除去多余的HSO3F和残余的HCl。然后将气体导出管与一浸在液氮中的冷阱相联接，加热铁反应器使Ba(SO3F)2分解。Ba(SO3F)2在400℃时开始分解，450～500℃时分解反应剧烈发生，分解所生成的SO2F2在冷阱中凝聚成固体。分解反应完成后，将冷阱温热，使其中的产物挥发并通过装有KMnO4溶液的洗气瓶以除去其中的SO2，然后通过装有浓硫酸的洗气瓶和装有五氧化二磷的干燥管进行干燥，再冷凝在一浸在液氮中的冷阱中。最后将其进行蒸馏提纯，弃去开头和末尾的馏分，收集中间馏份作为产品。
在一不锈钢管（也可为铜或镍管）中填充约400g AgF2，反应管的一端通过一支“T”形管同装SO2和N2的钢瓶连接起来，其出口端同一只两端有活塞的冷阱相连。先用N2吹扫整个系统，并将冷阱用液氮冷冻，然后使SO2与N2的混合气体（含SO2约80%）以0?3～0?8L/min的流速进入反应系统。反应过程中放热，根据反应管中发热区域的移动可了解反应的进程。当发热区到达反应管的末端时，反应即已基本完成。反应生成的SO2F2和未反应的SO2一起凝固在冷阱中。反应终了后将此冷阱从系统中拆开，将产品真空蒸馏至另一用液氮冷冻的冷阱中。为除去其中混有的SO2，可进一步用分馏柱进行分馏提纯，或用饱和KI溶液洗涤后再经充分干燥后进入用液氮冷冻的储存钢瓶中。
