江西六氟化硫气体的运输和储存方法介绍
- 发布时间:2021-12-22
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电子级六氟化硫逐渐实现国产替代六氟化硫(化学式为SF6)常态下是一种无色、无味、无毒、无嗅的非燃烧性气体。作为一种电子气体,六氟化硫具有良好的化学稳定性、耐腐蚀性、电绝缘性以及耐热性,在半导体、电力设备、航空航天、半导体制造、金属加工、医疗等领域应用广泛。根据应用领域不同,六氟化硫可分为工业级六氟化硫以及电子级六氟化硫,近年来,随着大规模集成电路技术提升,市场对电子气体纯度、质量等要求越来越高,在此背景下,六氟化硫产业逐渐由工业级向电子级方向升级。
电子级六氟化硫可作为氟源、蚀刻气体等应用在半导体、面板显示器件等大规模集成电路的蚀刻和清洗过程中。作为一种高附加值的精细化学品,电子级六氟化硫行业存在一定的技术、研发以及资金壁垒,早期受技术限制,我国电子级六氟化硫产能不足,产品进口依赖度较高,进入21世纪,我国电子产业发展迅速,国内市场对电子级六氟化硫的需求增长快速,电子级六氟化硫实现自主生产需求迫切。半导体产业的不断发展,电子级六氟化硫市场需求增速加快,我国电子级六氟化硫生产能力实现增长。
目前来看,我国六氟化硫生产企业数量较多,但其中具备电子级六氟化硫量产能力的企业较少,公司电子级六氟化硫产品纯度已达到5.5N级。我国电子特气进口依赖度较高,为提升电子特气自给率、争夺国际市场,我国政府对电子特气行业发展的重视度提升。电子级六氟化硫行业存在一定的技术、研发以及资金壁垒,早期我国电子级六氟化硫进口依赖度较高,近年来,在政策扶持力度加大、企业研发能力提升的背景下,电子级六氟化硫逐渐实现国产替代。目前我国具备电子级六氟化硫量产能力的企业数量较少,市场供应仍偏紧,未来我国电子级六氟化硫行业发展空间广阔。