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三氯化硼，化学式为BCl3，外观为无色发烟液体或气体，有刺激性和酸味，有毒，属于危险化学品。三氯化硼易潮解，遇水分解成氯化氢和硼酸，溶于醇，分解成盐酸、硼酸酯，溶于苯、二硫化碳等一些有机溶剂。电子级三氯化硼是用于半导体和集成电路领域的高纯度三氯化硼，其纯度需要达到99.999%以上。

电子级三氯化硼用于电子工业，可用于半导体硅器件和集成电路制造过程中的离子注入、扩散掺杂、干法刻蚀等环节。可用于铝、二硅化钼、二硅化钨、钛硅合金等金属、金属化合物、合金材料的蚀刻，具有很强的不可替代性。电子级三氯化硼的杂质含量和纯度直接影响半导体器件和集成电路的性能指标和良率。其纯度要求在5N以上，生产技术壁垒高。

三氯化硼的生产是在惰性气体环境中，在一定的温度条件下，以硼粉和氯气为原料，反应得到粗品，然后精馏得到三氯化硼。电子级三氯化硼在精制三氯化硼的基础上，通过吸附、蒸馏等工艺提纯得到最终产品。由于技术壁垒高，2018年之前，我国没有电子级三氯化硼产业。三氯化硼产能、市场需求依赖进口，主要从美国空气化工、美国普莱克斯、英国中银集团等公司进口。

从2018年至今，我国陆续有电子级三氯化硼项目建设，年产能可以达到千吨以上。随着我国电子级三氯化硼行业规模正在不断扩大，产能正在不断扩张，若生产的产品质量稳定能够达到下游客户要求，将逐步得到市场认可，在国内市场中的占有率有望不断提升。若目前已建成或正在建设的本土电子级三氯化硼产能能够持续稳定供货，我国电子级三氯化硼进口依赖度将持续下降。