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高纯六氟化硫在常温常压条件下为气态,温度降低后在一定的压力作用下较易液化为液态。当环境温度升高后,其对应的液化压力相应升高,成为不易液化的气体。当温度超过SF6的临界温度45.55℃时,就元法使其液化。又因为高纯六氟化硫为惰性气体,与油不相溶,所以可以比较容易地分离出所混入的油分。采用国际先进技术,滤油水平已达到与无油系统相媲美的程度,可以相当彻底地清除油分。

SF6回收净化装置的主要优点是将回收的SF6气体以液体形式直接储存在储罐中，并将气体绝缘开关设备中的残余压力恢复到53 kPa（绝对压力）。体积小，便于移动和放置，吸气速度快，可对回收的SF6气体进行干燥和过滤，也可将SF6气体重新装入SF6电气设备。六氟化硫回收净化一体化过滤吸附系统吸附SF6气体中的杂质、水分、分解产物和油，一体化设计，体积小，便于移动和使用。目前,在国际上高纯六氟化硫回收充气装置的回收储存原理主要有两种,一种采用冷冻液化法原理:即在SF6气体回收的过程中,在一定的SF6气体压力下,利用制冷机组使SF6气体温度降低至该压力下的饱和蒸汽温度,SF6气体开始液化为液体,并以液体形式进行储存,优点是回收速度快、液化速度快。另一种是采用高压液化法原理,即在高纯六氟化硫回收的过程中,在当时的环境温度下,利用压缩机将SF6气体压力提高至该温度下的饱和蒸汽压力,SF6气体开始转化为液体,并以液体形式进行储存。

六氟化硫回收净化装置的优点是系统简单,缺点是系统工作压力高,回收效率低,当SF6气体温度(SF6气体经压缩机压缩后温度可达到80℃以上)超过临界温度45.55℃时,就无法使其液化,此时高温高压的SF6气体只能经过一段时间后待其温度降至临界温度以下时才能转化为液体。