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三氟化氯是一种无机化合物，分子式为ClF3。 该物质气态为淡黄色，有毒，腐蚀性强，液态时为黄绿色工业气体。 工业气体通常被压缩成液体出售。 这种物质的主要用途是火箭燃料、半导体工业中的清洁和蚀刻、核反应堆加工燃料以及许多其他用途。

ClF3 是一种强氧化剂和氟化剂。 它与大多数有机和无机材料甚至塑料发生反应，使许多材料在不接触点火源的情况下燃烧。这些反应通常是剧烈的，在某些情况下甚至是爆炸性的。与某些金属反应生成氯化物和氟化物，与磷反应生成三氯化磷和五氟化磷，与硫反应生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3还与水发生剧烈反应，水解产生氟化氢等有毒物质。H2S 在室温下与ClF3 混合会发生爆炸。

这种物质自然是剧毒的，但这不是最重要的问题，它会在遇到任何燃料时燃烧，而且它发生得如此之快以至于点火延迟无法测量。工业气体与衣服、木材和测试工程师接触时会燃烧。一些常识性的不燃物质，如石棉、沙子、水等，与三氟化氯接触也不能幸免，尤其是与水发生反应引起爆炸。在一次工业事故中，900 公斤的 ClF3 泄漏烧穿了 30 厘米的混凝土和 90 厘米的砾石。 任何与三氟化氯接触的设备都必须仔细选择和清洁，因为任何污染可以点燃接触物。