电子特气行业产业链介绍
- 发布时间：2022-11-07
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根据制备方法和应用领域的不同，工业气体可分为大宗气体和特种气体。大宗气体主要包括氧气、氮气、氩气等空气分离气体和乙炔、二氧化碳等合成气体。特种气体种类繁多，主要包括电子特种气体、高纯气体和标准气体。
特种气体是电子气体的一个重要分支，是集成电路、显示面板等电子行业生产中不可缺少的原料。特种气体种类繁多，广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积和掺杂等领域。它们被称为集成电路、液晶面板、led和光伏等材料的“食物”和“来源”，决定着器件的最终成品率和可靠性。电子特气广泛应用于半导体、微电子及相关太阳能电池等高科技行业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化和清洗，或用作载气、保护气氛等。随着半导体和微电子技术向高性能、高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的净化变得越来越关键和重要。
电子特气的上游多为III(硼、铝、镓)、IV(碳、硅、锗)、V(氮、磷、砷)、卤族元素(氟、氯)的基础化工产业，下游在集成电路、面板、led等领域的各个工艺环节有着多种用途。电子特种气体是生产集成电路、显示面板等电子行业不可缺少的原材料。2021年，电子特种气体在集成电路中的应用占43%，其次是显示面板，占21%，LED和光伏，分别占13%和6%。主要应用环节包括离子注入、刻蚀、气相沉积和掺杂。
集成电路是电子特气主要下游应用，21年占比达43%。半导体产业是中国国民经济的基础性和战略性产业。在政策加持下，打造“中国芯”、实现进口替代的紧迫性和重要性不断加强。2011年，中国大陆的晶圆产能仅占全球的9%，2021年已经达到16%。预计2024年将达到19%，产业链逐渐向中国转移。据统计，2021-2022年，全球新增晶圆厂29家，其中中国大陆8家，占比27.59%。
从电子特种气体产业链来看，气体原料和化工原料是电子特种气体的主要生产原料；气体是电子特种气体的重要生产设备。此外，由于气体产品多为危险化学品，运输环节对钢瓶的需求也必不可少。
