砷化氢|砷烷的产品参数介绍
- 发布时间：2023-04-24
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砷化氢是在电子气体中用途十分广泛，技术难度非常大的烷类气体，是光电子，微电子重要的原材料，也是有机合成、标准气制备的重要化学物质，是N型掺杂极为重要的掺杂剂，砷烷还原性强，遇光能迅速分解。主要应用于扩散、外延生长、离子注入、化合物半导体用气体、化学气相淀积。
技术指标
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产品规格 |
99.999% |
99.99995% |
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氩气（Ar） |
＜50ppb |
/ |
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氮气（N2） |
＜100ppb |
＜2ppm |
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氧气（O2） |
＜40ppb |
＜1ppm |
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二氧化碳（CO2） |
＜40ppb |
＜0.5ppm |
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一氧化碳（CO） |
＜10ppb |
＜1ppm |
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甲烷（CH3） |
＜10ppb |
/ |
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乙烷（C2H6） |
＜25ppb |
/ |
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丙烷(C3H8) |
＜25ppb |
/ |
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总烃THC |
/ |
＜0.5ppm |
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磷烷（PH3） |
＜50ppb |
＜1ppm |
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水份（H2O） |
＜100ppb |
＜2ppm |
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锗烷（GeH4） |
＜50ppb |
/ |
