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气体指南

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五氟化磷特种气体应用于半导体行业

  • 发布时间:2024-04-10
  • 发布者: 本站
  • 来源: 原创
  • 阅读量:
中文名五氟化磷
外文名phosphorus pentafluoride
化学式PF5
分子量125.966
CAS登录号7647-19-0
EINECS登录号231-602-3
熔    点-93.8 ℃ [2]
沸    点-84.6 ℃ [2]
密    度5.805 kg/m³
外    观无色气体
闪    点-84.6 ℃ [3]
安全性描述S3/7/9;S38;S45
危险性符号C;T
危险性描述R23

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