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电子气体

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碳酰氟

碳酰氟

中文名    碳酰氟

外文名    Carbonic difluoride

别    名    氟光气;氟氧化碳;氟化羰等

分子式    CF2O

分子量     66.01

沸    点    -84℃

外观与性状:带有刺激性的无色气体,遇水分解。

熔点(℃): -114

沸点(℃): -83

相对密度(水=1): 1.14(-114℃)

用途    可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气,有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂。

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