碳酰氟
中文名 碳酰氟
外文名 Carbonic difluoride
别 名 氟光气;氟氧化碳;氟化羰等
分子式 CF2O
分子量 66.01
沸 点 -84℃
外观与性状:带有刺激性的无色气体,遇水分解。
熔点(℃): -114
沸点(℃): -83
相对密度(水=1): 1.14(-114℃)
用途 可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气,有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂。
中文名 碳酰氟
外文名 Carbonic difluoride
别 名 氟光气;氟氧化碳;氟化羰等
分子式 CF2O
分子量 66.01
沸 点 -84℃
外观与性状:带有刺激性的无色气体,遇水分解。
熔点(℃): -114
沸点(℃): -83
相对密度(水=1): 1.14(-114℃)
用途 可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气,有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂。
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