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五氟化钽

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五氟化钽
五氟化钽,化学式TaF5,白色结晶。折光能力强。相对密度4.74。熔点96.8℃。沸点229.5℃。稍溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚生成氟氧络合离子TaOF52-和氟化氢,亦溶于氢氟酸硝酸发烟硝酸。在空气中吸湿而不水解。能缓慢腐蚀玻璃。氟化金属制得。也可由五氯化钽无水氟化氢作用制得。用作傅-克反应的催化剂。用于生产电容器,也用于化学气相沉积钽粉直接氟化可制取纯度大于99%的产品。在微电子工业中用作气相淀积硅化钽或钽,以制作低电阻高熔点的互连线。

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