高纯电子特气分析用标准气体
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标准物质名称 |
标准物质编号 |
组分 |
相对扩展不确定度 |
标准编号及名称 |
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氦气 |
BW(DT)0143 |
Ar、O2、CH4、CO2、Ne、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氦气平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 4844_纯氦、高纯氦和超纯氦 |
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氩 |
BW(DT)0113 |
O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氩气平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 4842-2017 氩 |
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氢 |
BW(DT)0110 |
Ar、O2、CH4、CO2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氢气平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 3634.2 氢气 第2部分：纯氢、高纯氢和超纯氢 |
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氮 |
BW(DT)0159 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO 1.00—1000(μmol/mol) 氮气平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮 GB/T8979-2008 纯氮、高纯氮和超纯氮 |
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氧 |
BW(DT)0134 |
Ar、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氧平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 14599-2008 纯氧、高纯氧和超纯氧 GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧 |
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二氧化碳 |
BW(DT)0108 |
Ar、O2、CH4、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 二氧化碳平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 23938-2009 高纯二氧化碳 |
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一氧化碳 |
BW(DT)0162 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、N2 1.00—1000(μmol/mol) 一氧化碳平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 35995-2018 一氧化碳 |
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氖 |
BW(DT)0171 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 1.00—1000(μmol/mol) 氖气平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 17873-2014 纯氖和高纯氖 |
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氪 |
BW(DT)0171 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2、Xe 1.00—1000(μmol/mol) 氪气平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 5829-2006 氪气 |
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氙 |
BW(DT)0171 |
Ar、O2、CH4、CO2、H2、CO、N2 、Kr、N2O 1.00—1000(μmol/mol) 氙气平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 5828-2006 氙气 |
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甲烷 |
BW(DT)0142 |
Ar、O2、CO2、H2、CO、N2、乙烷、硫化氢 1.00—1000(μmol/mol) 甲烷平衡 |
2%(k=2) |
GB/T 33102-2016 纯甲烷和高纯甲烷 |
