电子混合气体
湖南远创气体有限公司近几年来持续加大电子气体投入，于2018年成为“集成电路材料产业技术创新战略联盟”成员。凭借丰富的配气经验，先进的分析能力（CNAS认证实验室）和严谨的管理体系，不断开发满足客户需求的气体产品，形成了以混合气为主，特殊化学气体及高纯气为辅的产品线，相关产品 已经应用于LED、IC、光伏等行业。
|
气体组分 |
含量 |
阀门 |
充装压力 |
|
PH3/H2 |
ppm级 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
|
PH3/N2 |
ppm级 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
|
PH3/He |
ppm级 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
|
SiH4/H2 |
ppm级 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
|
SiH4/N2 |
ppm级 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
|
B2H6/H2 |
ppm级 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
|
30%O2/He |
|
DISS714 |
12MPa |
|
20%O2/Ar |
|
DISS714 |
10MPa |
|
3%H2/Ar |
|
DISS724 |
10MPa |
|
15%O2/Ar |
|
DISS714 |
10MPa |
|
0.5%O2/He |
|
DISS714 |
12MPa |
|
1.2%He/N2 |
|
DISS714 |
12MPa |
|
F2/Kr/Ne |
%含量 |
CGA679/DISS728 |
13.8MPa |
|
F2/Ar/Ne |
%含量 |
CGA679/DISS728 |
13.8MPa |
|
Kr/Ne |
%含量 |
CGA580/DISS718 |
13.8MPa |
|
Ar/Xe/Ne |
%含量 |
CGA580/DISS718 |
13.8MPa |
|
4%H2/N2 |
|
DISS718 |
12MPa |
|
2.7%C2H4/He |
|
JISS22-14OR |
12MPa |
|
99.9% NO |
|
JISS22-14-OR |
3.5MPa |
