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电子混合气体

电子混合气体

电子混合气体

电子混合气体

湖南远创气体有限公司近几年来持续加大电子气体投入,于2018年成为“集成电路材料产业技术创新战略联盟”成员。凭借丰富的配气经验,先进的分析能力(CNAS认证实验室)和严谨的管理体系,不断开发满足客户需求的气体产品,形成了以混合气为主,特殊化学气体及高纯气为辅的产品线,相关产品 已经应用于LED、IC、光伏等行业。

气体组分

含量

阀门

充装压力

PH3/H2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

PH3/N2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

PH3/He

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

SiH4/H2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

SiH4/N2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

B2H6/H2

ppm级

DISS632/CGA350

10MPa

30%O2/He

 

DISS714

12MPa  

20%O2/Ar

 

DISS714

10MPa

3%H2/Ar

 

DISS724

10MPa

15%O2/Ar

 

DISS714

10MPa

0.5%O2/He

 

DISS714

12MPa

1.2%He/N2

 

DISS714

12MPa

F2/Kr/Ne

 %含量

CGA679/DISS728

13.8MPa

F2/Ar/Ne

 %含量

CGA679/DISS728

13.8MPa

Kr/Ne

 %含量

CGA580/DISS718

13.8MPa

Ar/Xe/Ne

 %含量

CGA580/DISS718

13.8MPa

4%H2/N2

 

DISS718

12MPa

2.7%C2H4/He

 

JISS22-14OR

12MPa

99.9% NO

 

JISS22-14-OR

3.5MPa


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