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1、氢化锗（Germane），也称为锗烷，是一种无机化合物，化学式为GeH4，常温常压下为无色气体，在室温稳定，在280℃左右开始分解，在350℃左右几乎全都分解成元素Ge和H2。空气中能燃烧，燃烧时发出蓝红色火焰，但燃烧程度不如硅烷激烈。与氧或空气的混合物易爆炸。常温下在液氨中与碱金属反应生成MGeH3。锗烷的自催化性强，一旦分解形成金属覆盖膜，就会急剧分解。因此，配管等材料的表面必须平滑。

2、锗烷不溶于水，但可溶于次氯酸，微溶于热浓硫酸。能被硝酸分解。可用于制取高纯度锗。锗烷是一种无色、有毒的易燃气体，带有刺激性气味。其可在空气中自发燃烧。它可与氢、氩、氦、氮相互兼容，经常与这些气体混合运送。锗烷被用于外延硅和非晶硅、锗、合金的沉积。

3、锗烷且作为(Si, Ge)02薄膜等离子体增强化学汽相沉积的一种成分，为光电子的应用提供了可控的折射率。通常以游离气体而非自身压力下的液化气体进行运送。