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三氟化磷主要用作半导体载气

  • 发布时间:2024-04-23
  • 发布者: 本站
  • 来源: 原创
  • 阅读量:

1、三氟化磷,是一种无机化合物,化学式为PF3,在常温常压下为无色无味的有毒气体。

2、三氟化磷液态时为无色透明液体,空气中不太发烟,相当稳定,加热时与氢反应生成PH3,能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外,不腐蚀玻璃。

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