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特种气体

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乙硅烷

乙硅烷

产品详情:

乙硅烷(Si2H6)Disilane

 

 

化学式

Si2H6

中文名称

乙硅烷

英文名称

Disilane

CAS No.

1590-87-0

分子量

66.22

充装系数

 

应用

太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。

产品规格

≥99.999%



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