三甲基硅烷C3H10Si
产品详情：
|
三甲基硅烷（C3H10Si）Trimethylsilane |
|
|
|
|
|
化学式 |
C3H10Si |
|
中文名称 |
三甲基硅烷 |
|
英文名称 |
Trimethylsilane |
|
CAS No. |
993-07-7 |
|
规格 |
47L/20KG |
|
充装系数 |
|
|
应用 |
应用于半导体工业SiCN扩散阻挡层制备工艺，沉积低介电常数的铜扩散阻挡层或刻蚀停止层，采用等离子体辅助化学气相沉积方法PECVD制得 |
|
产品规格 |
≥99.999% |
